XRF(X-Ray Flourescene spectroscopy)분석장치는 전압과 전류를 X-Ray에 인가하여 샘플에 엑스선을 조사한뒤 반응된 형광에너지를 각 에너지 대역별로 카운트하여 에너지 스펙트럼을 획득하는 장치를 뜻합니다. XRF의 구성장치는 크게 X-Ray tube, detector, 레이저 초점설정기 등으로 구성됩니다. 이번 포스팅에서는 XRF 분석장치의 구성장치인 X-Ray tube에 대해 자세히 알아보겠습니다. 출처 : adax.com 1. X-Ray 발생 원리출처 : techvalley필라멘트에 고전압을 가하면 전류가 흐르면서 가열되는데, 가열된 필라멘트에서 에너지를 얻은 열전자가 tube로 방출되게 됩니다. 고전압으로 가속된 전자는 양극 전극인 금속판에 충돌하는데 이 때 전자가 ..